有机晶体管及矩阵电路示范性制备系统
该系 统需要既能满足分子材料的宏量纯化、大面积连续成膜、形貌表征, 又能实现分子器件的快速制备、光电性能表征、器件集成与封装,搭 建一站式的分子材料评估体系,遴选性能优异的分子材料和器件,为 相关功能材料体系迈向实际应用构建切实高效的支撑平台。根据该设计思路,有机晶体管及矩阵电路示范性制备系统将主要 包括材料宏量纯化制备、功能薄膜制备、薄膜结构与器件性能表征、 器件集成与封装四大功能子系统,以上四大功能子系统的相关设备直 接放置或集成于互联互通手套箱中,从而实现惰性气氛工作环境互联 互通。材料宏量纯化制备系统主要用于实现低温挥发 性有机物的宏量提纯,为一站式材料性能综合表征提供原料基础;功 能薄膜制备系统主要包括等离子体清洗、旋涂、真空热沉积、电子束 蒸发等设备;薄膜结构与器件性能表征系统主要包括光学显微镜、椭偏仪、光电器件性能测试等设备;器件集成与封装系统主要包括打印、 紫外光刻、等离子体刻蚀、封装等设备。为最大限度地排除人为因素 的影响,客观真实地对各分子材料做出综合评价,该平台将借助特型 定制的自动机械手臂和可严格控制工作环境(水、氧含量)的手套箱 实现核心功能的互联互通,保障子平台的高效、稳定运行。

