超高分辨微纳材料沉积系统

型号：SIJ S050

设备介绍：

超高分辨微纳米材料沉积系统采用电流体动力（EHD）喷墨打印方式，精确释放沉积飞升级溶剂的设备，优于现有的喷墨打印技术并有效的解决喷墨打印的离散沉积、飞墨现象、容易堵塞问题和频繁更换打印头的困扰，其可沉积得到亚微米尺寸器件。超高分辨微纳米材料沉积系统可打印材料包括：量子点溶液，金属纳米导电墨水，有机半导体墨水，碳管石墨烯，蛋白质等，可打印材料种类多，材料黏度适应范围广。

主要参数：

1) 特征线宽 最小线宽尺寸500 nm

2) 特征间距 最小可到 1 μm

3) 释放体积 飞升级，最优可到0.1 fL

4) 喷嘴尺寸 最小1.3 μm

5) 打印速度 可达50 mm/s

6) 平台精度 不大于200 nm

7) 打印方式 可自由切换垂直和倾斜两种打印模式

8) 图像文件 可编辑打印复杂图形；可编辑打印复Vector矢量图形

9) 激光预扫 可测量基底表面高度温度范围 1.8-400 K

设备位置：怀柔研究中心 国家平台413

联系方式：

陈翠丽，电话：15712839771，邮箱：chencuili@iccas.ac.cn