聚焦离子束双束扫描电镜

型号：Helios 5UX

设备介绍：

聚焦离子束双束扫描电镜是集成了聚焦离子束（FIB）的高精度加工能力与扫描电镜（SEM）的高分辨率成像能力，是可实现材料微纳尺度的刻蚀、沉积、截面制备与原位表征的一体化先进设备。现已广泛应用于材料科学、半导体工业及生命科学等领域。通过离子束与电子束的相互配合，可实现微纳加工、样品表面及截面的高分辨成像、透射电镜样品制备、三维重构、线路修补等功能。

主要参数：

● 离子束系统：

· 离子源种类：液态Ga 离子源;

· 交叉点分辨率：2.5 nm @ 30 kV;

· 加速电压：0.5 kV - 30 kV;

· 束流强度：1 pA – 65 nA;

● 电子束系统：

· 分辨率：在最佳工作距离：

0.6 nm @ 15 kV；

0.7 nm @ 1 kV；

1.0 nm @ 500 V;

· 加速电压：0.35 kV – 30 kV;

· 束流强度：0.8 pA – 100 nA

设备位置：怀柔研究中心分子材料与器件研究测试平台130实验室

联系方式：潘　聪，电话：13952685712 邮箱：pancong@iccas.ac.cn