飞行时间二次离子质谱

型号：M6

主要参数：

1）高真空(UHV)的主真空室（10^-10 mbar）；

2）样品检测横向分辨率：优于50 nm；纵向分辨率：约1 nm；

3）可同时检测m/z: 1 - 10000 Da；检测限: ppm – ppb；

4）电动五轴超高真空样品台，样品分析温度：−150 °C ~ 600 °C；

5）二级质谱分析（TOF MS/MS）；

6）双离子源光学镜筒（配备Cs源/O2/Xe/Ar等离子源）；

7）分析/刻蚀两用的气体团簇离子源（Gas Cluster Source）；

8）溅射速率: 0.5–5 nm/s；

9）具有聚焦离子束(FIB)剖面分析、电子束中和系统、分析室的气体吹扫系统等功能；

10）免接触空气的保护进样方式（真空互联/自研样品台）。

设备位置：怀柔研究中心 国家平台111-113实验室

联系方式：

联系人：赵耀，电话：13070167995，邮箱：yaozhao@iccas.ac.cn