型号：SENTECH SER800 DUV
设备介绍：
主要参数：
1）高度、倾斜度可调节的样品载物台，载物台直径200 mm。
2）光谱范围：190–1000 nm。
3）光斑直径1.5-3 mm，可调光圈。
4）自动准直透镜ACT和光学显微镜。
5）椭偏角度Ψ，Δ精度：δΨ：0.03°，δΔ：0.07°。
6）膜厚测量精度：0.015 nm。
7）折射率测量精度：0.0002。
设备位置：
怀柔研究中心北京分子科学交叉研究平台321-323实验室
联系方式：
李志毅，电话：13621259155，邮箱：lizhiyi@iccas.ac.cn
