手套箱互联与器件制备表征系统
系统介绍：
手套箱互联与器件制备表征系统立足于提升分子材料研发效率，实现分子材料多功能性质一体化研究。系统包含用于薄膜与器件制备的基片预处理、溶液旋涂制膜、有机蒸镀、金属蒸镀、电子束蒸镀，用于光电性能测试的有机场效应晶体管（OFET）、有机光伏电池（OPV）、有机电致发光器件（OLED）等器件性能表征测试，用于样品封装的半自动点胶机，以及用于样品自动转移传输的线性传输装置。上述功能设备集成于惰性氛围手套箱并通过样品自动中转传输机构互联为一体，有效避免大气环境中的水/氧等成分对分子材料与器件性能的影响，实现分子材料多种光电功能性质，在真空或惰性氛围下的一体化制备与表征研究，促进分子材料性质的多功能、高通量、交叉性的综合高效研究。
代表性功能模块及关键技术指标：
（1）有机/金属/电子束蒸镀模块
型号: MB-EVAP
关键技术指标：
1)真空度：优于5×10-7 mbar；
2)自动镀膜工艺速率精度：0.01 Å/s，膜厚精度：0.1 Å；
3)有机蒸镀源：温度范围50-800℃，精度±0.1℃，可双源共蒸镀，衬底温度-30 ~ +200℃；
4)金属蒸镀源：最大功率2 kW，满足Au、Ag、Al等金属蒸镀；
5)电子束蒸镀源：最大功率6 kW，最大发射电流600 mA，束斑尺寸2 mm，衬底温度-80℃~室温。
（2）控温匀胶机模块
型号: KW-4E-I
关键技术指标：
1)转速范围：1～12000 rpm，转速精度：1 rpm，转速稳定度：±0.1%；
2)基片温控范围：室温-200 ℃，加热时间小于5 s，冷却时间小于10 s。
（3）有机场效应晶体管测试分析模块
型号: MM450PM、Keithley 4200A-SCS
关键技术指标：
1)探针台卡盘：直径200 mm，X/Y轴行程200 mm；
2)探针座：X/Y/Z轴调节范围12.5 mm；
3)样品观测放大倍率：5~100倍；
4)电流测量：分辨率1 fA，最小漏电流100 fA，最大电压200 V，最大电流100 mA。
（4）有机光伏器件测试分析模块
型号: SS-X100、QE-R
关键技术指标：
1)太阳光模拟器：3A级标准，光斑面积100 mm×100 mm，辐射强度：0.03~1个太阳；
2)量子效率IPCE测量仪：测试光谱范围300-1800 nm，光斑面积1 mm×1 mm。
（5）有机发光二极管测试分析模块
型号：LQ-100
关键技术指标：
1)发光光谱测试范围：300 ~ 1700 nm，分辨率1 nm；
2) 亮度测试范围：0.01 ~ 5×106 cd/m2；
3) 通量范围：5×106 ~ 500 lm；
4) 辐射亮度范围：0.02 ~ 107 mW/Sr/m2；
5) 辐射通量范围：1×105 ~ 600 mW。
（6）光电器件封装模块
型号：SM200SX-3A、ELC-500
关键技术指标：
1)自动点胶：动作范围：X/Y轴200 mm，Z轴50 mm，
2)重复定位精度0.01 mm，点胶压力范围：0.03~0.5 MPa；
3)紫外固化：UV光范围350~450 nm，光强30 mW/cm²。
系统位置：怀柔研究中心分子材料与器件研究测试平台二楼南侧215-216室
联系方式：
联系人：何畅 老师，电话：13520967820，邮箱：hechang@iccas.ac.cn
系统介绍：
手套箱互联与器件制备表征系统立足于提升分子材料研发效率，实现分子材料多功能性质一体化研究。系统包含用于薄膜与器件制备的基片预处理、溶液旋涂制膜、有机蒸镀、金属蒸镀、电子束蒸镀，用于光电性能测试的有机场效应晶体管（OFET）、有机光伏电池（OPV）、有机电致发光器件（OLED）等器件性能表征测试，用于样品封装的半自动点胶机，以及用于样品自动转移传输的线性传输装置。上述功能设备集成于惰性氛围手套箱并通过样品自动中转传输机构互联为一体，有效避免大气环境中的水/氧等成分对分子材料与器件性能的影响，实现分子材料多种光电功能性质，在真空或惰性氛围下的一体化制备与表征研究，促进分子材料性质的多功能、高通量、交叉性的综合高效研究。
代表性功能模块及关键技术指标：
（1）有机/金属/电子束蒸镀模块
型号: MB-EVAP
关键技术指标：
1)真空度：优于5×10-7 mbar；
2)自动镀膜工艺速率精度：0.01 Å/s，膜厚精度：0.1 Å；
3)有机蒸镀源：温度范围50-800℃，精度±0.1℃，可双源共蒸镀，衬底温度-30 ~ +200℃；
4)金属蒸镀源：最大功率2 kW，满足Au、Ag、Al等金属蒸镀；
5)电子束蒸镀源：最大功率6 kW，最大发射电流600 mA，束斑尺寸2 mm，衬底温度-80℃~室温。
（2）控温匀胶机模块
型号: KW-4E-I
关键技术指标：
1)转速范围：1～12000 rpm，转速精度：1 rpm，转速稳定度：±0.1%；
2)基片温控范围：室温-200 ℃，加热时间小于5 s，冷却时间小于10 s。
（3）有机场效应晶体管测试分析模块
型号: MM450PM、Keithley 4200A-SCS
关键技术指标：
1)探针台卡盘：直径200 mm，X/Y轴行程200 mm；
2)探针座：X/Y/Z轴调节范围12.5 mm；
3)样品观测放大倍率：5~100倍；
4)电流测量：分辨率1 fA，最小漏电流100 fA，最大电压200 V，最大电流100 mA。
（4）有机光伏器件测试分析模块
型号: SS-X100、QE-R
关键技术指标：
1)太阳光模拟器：3A级标准，光斑面积100 mm×100 mm，辐射强度：0.03~1个太阳；
2)量子效率IPCE测量仪：测试光谱范围300-1800 nm，光斑面积1 mm×1 mm。
（5）有机发光二极管测试分析模块
型号：LQ-100
关键技术指标：
1)发光光谱测试范围：300 ~ 1700 nm，分辨率1 nm；
2) 亮度测试范围：0.01 ~ 5×106 cd/m2；
3) 通量范围：5×106 ~ 500 lm；
4) 辐射亮度范围：0.02 ~ 107 mW/Sr/m2；
5) 辐射通量范围：1×105 ~ 600 mW。
（6）光电器件封装模块
型号：SM200SX-3A、ELC-500
关键技术指标：
1)自动点胶：动作范围：X/Y轴200 mm，Z轴50 mm，
2)重复定位精度0.01 mm，点胶压力范围：0.03~0.5 MPa；
3)紫外固化：UV光范围350~450 nm，光强30 mW/cm²。
系统位置：怀柔研究中心分子材料与器件研究测试平台二楼南侧215-216室
联系方式：
联系人：何畅 老师，电话：13520967820，邮箱：hechang@iccas.ac.cn
