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        中国科学院化学研究所成立于1956年,是以基础研究为主,有重点地开展国家急需的、有重大战略目标的高新技术创新研究,并与高新技术应用和转化工作相协调发展的多学科、综合性研究所,是具有重要国际影响、高水平的化学研究机构。化学所的主要学科方向为高分子科学、物理化学、有机化学、分析化学、无机化学。多年来,化学所面向世界科技前沿,取得一批有重要影响的基础研究成果,原始创新能力不断提升;面向国家战略需求,取得多项关键核心技术突破,高技术创新与集成不断加强;面向国民经济主战场,形成一批自主知识产权,延伸创新价值链,技术示范和产业化不断推进。
      现任领导
      • 王树

        所长

      • 范青华

        党委书记、副所长

      • 冯国星

        纪委书记

      • 郑企雨

        副所长

      • 郭玉国

        所务委员

      • 周恒

        所务委员

      所长致辞
        中国科学院化学研究所是以基础研究为主,有重点地开展国家急需的、有重大战略目标的高新技术创新研究,并与高新技术应用和转化工作相协调发展的多学科、综合性研究所。60多年以来,几代化学所人不懈努力,顽强拼搏,勇攀高峰,形成了创新、求是、团结、奉献的优秀文化,为我国科技事业、国民经济和国家重大需求做出了重要贡献。中国科学院知识创新工程以来,化学所以建设国际一流的化学研究机构为目标,不断凝练科技目标,调整和完善了科研组织结构;坚持“引进与培养并重”,形成了一支结构合理、素质精良的科技创新队伍;瞄准科学前沿,注重原始创新和学科交叉,取得了一批有重要影响的基础研究成果
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    化学所承担的国家科技重大专项(02专项)极紫外光刻胶项目顺利通过国家验收

    发布时间:2018-05-31【字体: 大  中  小 】【打印】 【关闭】

      2018年5月24日,国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项(以下简称02重大专项)实施管理办公室组织任务验收专家组、财务验收专家组对02重大专项“极紫外光刻胶材料与实验室检测技术研究”项目进行了任务验收和财务验收。与会专家听取了项目负责人和课题负责人对项目和课题完成情况的汇报、测试组的现场测试报告、财务执行情况报告等,审阅了验收资料。经过认真讨论,与会专家一致同意通过该项目的验收。 

      《国家中长期科学技术发展规划纲要(2006-2020年)》在重点领域中确定一批优先主题的同时,围绕国家目标,进一步突出重点,筛选出若干重大战略产品、关键共性技术或重大工程作为重大专项,力争取得突破,努力实现以科技发展的局部跃升带动生产力的跨越发展。 

      极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(02专项)项目“极紫外光刻胶材料与实验室检测技术研究”由中国科学院化学研究所、中国科学院理化技术研究所、北京科华微电子材料有限公司联合承担。经过项目组全体成员的努力攻关,完成了EUV光刻胶关键材料的设计、制备和合成工艺研究、配方组成和光刻胶制备、实验室光刻胶性能的初步评价装备的研发,达到了任务书中规定的材料和装备的考核指标。项目共申请发明专利15项(包括5项国际专利),截止到目前,共获得授权专利10项(包括国际专利授权3项);培养了博士研究生9名,硕士研究生1名。 

      与会专家对取得的研发成果给予了充分肯定,指出开展极紫外光刻胶的研发具有战略眼光,经过项目组成员几年的努力,圆满地完成了研发任务,达到了项目任务书中规定的指标;建立了一支在高档光刻胶领域的研发队伍,为我国的半导体集成电路产业的稳定发展提供了人才支持。 

      项目负责单位化学所和课题承担单位理化所的领导在致辞中对专家组多年来对光刻胶研发团队的支持表示了衷心的感谢。我国的高档电子化学品的研发正处于高速发展期,将对我国的半导体产业的稳定发展提供重要保证,希望对高档光刻胶的研发给予持续的支持;鼓励研发团队继续努力,发挥在特殊材料领域设计和制备的优势,为我国的半导体工业的发展做出自己的贡献。 

      参加验收会的有科技部重大专项办公室、北京市经济和信息化委员会、02重大专项办公室、02重大专项总体组及02重大专项办公室聘请的任务验收专家和财务验收专家等有关单位的领导和专家参加了本次验收会。 

      

        

      验收会现场 

        

      项目负责人做项目总体报告 

        

      参会领导和任务专家合照 

     

        

      光化学院重点实验室 

      2018年5月31日   


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